IR-400

用于腔室清潔終點(diǎn)監(jiān)測的高級(jí)型氣體監(jiān)測儀

IR-400 可在沉積過程中實(shí)時(shí)監(jiān)控腔室清潔終點(diǎn)。通過優(yōu)化清潔過程，IR-400 減少了清潔時(shí)間和氣體使用量。清潔氣體使用量的減少減少了腔室損壞，并延長了所有系統(tǒng)組件的使用壽命。

• 多氣體監(jiān)測（支持的 SiF4和 CF4） （IR-422）
• 高靈敏度
• 氣室加熱功能高達(dá) 180 decC
• 多顯示器
• 模擬/數(shù)字通信。

使用 IR-400 進(jìn)行實(shí)時(shí)終點(diǎn)監(jiān)測的優(yōu)勢

• 減少腔室清潔時(shí)間
• 減少清潔氣體的使用
• 可重復(fù)且可預(yù)測的清潔過程
• 腔室組件的使用壽命更長

應(yīng)用示例

• 監(jiān)測室排氣管

測量技術(shù)

可靠、高性能
的非色散紅外吸收測定法 （NDIR）

IR-300 系列采用的紅外吸收測定法利用了氣體分子吸收紅外光源發(fā)出的紅外光的原理。將吸收了被測氣體的樣品輸出與無吸光度的參考輸出進(jìn)行比較，并將結(jié)果轉(zhuǎn)換為氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長期、穩(wěn)定的測量結(jié)果。

光學(xué)系統(tǒng)由光源、氣體室和雙光束探測器組成。雙光束探測器的穩(wěn)定性已經(jīng)經(jīng)過 40 多年的驗(yàn)證。