IR-300 型
蒸汽濃度監測儀
金屬有機化學氣相沉積 （MOCVD） 工藝廣泛用于制造 LED、光學器件和其他組件。通過控制溫度、壓力和載氣流速（鼓泡方法），液體和固體前驅體被輸送到反應室。在線 IR-300 系列可實時測量和報告前驅體濃度，為用戶提供以下優勢：
- 優化過程控制以生產更多高檔設備
- 提高設備產量并減少廢品
- 提高重現性
- 了解何時需要更換起泡器
- 擴展 MTTA
- 減少計劃外干預
- 減少有價值的前驅體浪費
- 實時監測
快速響應和出色的可重復性允許實時跟蹤蒸汽濃度的變化 - 多重校準曲線功能（可選）
允許測量多達 3 種化學品或范圍的濃度 - 多顯示功能
IR-300 裝置頂部的多顯示功能為用戶提供了濃度監測和前驅體供應管線狀態的現場檢查功能 - 通信功能
通過 DeviceNet?、RS485 和模擬通信進行連接 - 簡單、緊湊的設計
該裝置的面對面尺寸為 124 mm，其緊湊且無安裝方向的設計使其易于集成
高光強度和長壽命光源與高速信號處理相結合，使 IR-300 系列能夠對母離子濃度的變化實現更快、更可重復的響應。這些功能通過實時在線濃度測量使用戶能夠真正了解實際過程。
MOCVD 前驅體的測量示例
■實驗流程圖
■前驅體濃度變化的監測
下面是一個示例，其中實時監測所提供前驅體的濃度（由于背壓調節器調整起泡器中的壓力而發生變化）。
測量技術
可靠、高性能
的非色散紅外吸收測定法 （NDIR）
IR-300 系列采用的紅外吸收測定法采用測量氣體分子在紅外光源發出的紅外光中的吸收的原理。將吸收了被測氣體的樣品輸出與無吸光度的參考輸出進行比較，并將結果轉換為氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長期、穩定的測量結果。
光學系統由光源、氣體室和雙光束探測器組成。雙光束探測器的穩定性已經經過 40 多年的驗證。
