微極系統 QL 系列
四極桿質量分析儀
MICROPOLE 系統是最小的質譜系統之一，易于安裝。該系統已被證明是許多腔室表征應用的理想解決方案。緊湊的尺寸是通過微型陣列四極桿質量過濾器的專利設計實現的。該系統能夠在比傳統系統高得多的壓力下運行，因此減少了對額外差壓泵設備的需求。
- 極其緊湊的尺寸和輕量化
的 1/20th與傳統的殘余氣體分析儀相比，尺寸小，易于集成到任何系統中 由 9 個四極桿組成的高性能
微型陣列提供出色的靈敏度，而體積僅為傳統四極桿的一小部分高壓作
可在高達 0.9Pa （7mTorr， 9 x 10-3mbar），從而減少或消除許多應用中昂貴的真空抽氣校準
中的可互換傳感器頭 傳感器頭在發貨前經過預調諧和校準，允許用戶在現場更換傳感器，而無需微調或技術專業知識網絡傳感器
使用 RS-485 的一臺 PC 最多可以監控 8 個傳感器。還可以通過外部 I/O 進行無 PC 的掃描作。用戶友好的軟件
Micropole Scanner? 2 軟件允許用戶以各種模式監測氣體的分壓，例如趨勢圖、光譜圖、條形圖。
測量原理
四極桿質量分析儀由離子源、質量離子檢測器組成。殘余氣體與高溫細絲釋放的熱電子碰撞時被電離，由此產生的離子加速并匯聚到質量過濾器上。在質量過濾器上，將不同的直流電和 RF 施加到電極（四極桿）上，從而允許離子按質量分離。分離的離子被法拉第杯檢測為電流。離子電流與殘余氣體的分壓成正比。
微極TM分析器
使四極桿質量分析儀獨一無二的功能是 MICROPOLETM分析器 （MPA）;由九個四極桿組成的組合，充分利用了超精密光學蝕刻加工技術和玻璃/金屬接合技術。MPA 的開發催生了四極桿質量分析儀，這是世界上最小的殘余氣體分析儀，同時提供與傳統的大型質譜儀相同或更好的靈敏度。分析器是一個插件單元。它采用的傳感器單元已針對分壓進行了校準，并提供絕對總壓和分壓測量。
應用
腔室狀態監測
Microople System QL 系列由于其緊湊性而長期用于測量殘留氣體。在金屬濺射工藝中，必須降低氧基氣體的分壓，以避免濺射金屬氧化。一旦腔室暴露在空氣中進行維護，需要時間來減少殘留氣體，四極桿質量分析儀適用于檢查腔室狀況。
等離子體過程監測
四極桿質量分析儀具有一種用于等離子體過程的原位過程監測技術，包括蝕刻、濺射和干洗。在通過反應濺射沉積透明導電氧化物薄膜的過程中，氧基氣體的控制對于透明度和導電性都至關重要。近年來，半導體工藝的復雜性需要額外的工藝監控工具，以縮短設備啟動時間并檢測工藝異常。
