SEC-E 系列
質量流量控制器
這款通用質量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥，可讓您實現對氣體流量的高級控制。質量流量控制器 sec-e 系列是一種多功能元件，可用于廣泛的行業。
通過質量流量控制器的氣體流量可以在一系列流量內進行控制：從 10 SCCM 到 200 SLM。
- 配備可靠的熱傳感器和電磁閥
- 流量控制范圍廣：從 10 SCCM 到 200 SLM （N2）
- 適用于廣泛的應用
- 集成到各種制造系統中，包括：LCD、光伏電池、功率半導體、涂層
- 一般工業：燃燒器氣體控制、大氣氣體控制、混合氣體的產生、通風量的測量
- 研發：各種氣體傳感器和燃燒器的性能評估設備;生物技術相關評估
- 實驗室：用于各種實驗的氣體流量控制器、采樣氣體等。
