SEC-Z500X 系列

多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器

這是 HORIBA 最暢銷的數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號。它具有多量程/多氣體功能，使用戶能夠在現(xiàn)場快速輕松地更改氣體類型或滿量程流量。
該質(zhì)量流量控制器具有高精度 +/- 1.0% S.P、壓電執(zhí)行器閥、高速響應(yīng)和全金屬，適用于提高工藝產(chǎn)量和簡化零件管理。數(shù)字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT? 通信均可用。

• 高精度 ±1.0% S.P.
  該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補(bǔ)償，并在所有流量控制范圍內(nèi)實現(xiàn)高精度。為了提高實際氣體精度，各種工藝氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 的標(biāo)準(zhǔn)氣體測量系統(tǒng)測量。
• 高速響應(yīng)
  安裝“可變 PID 系統(tǒng)”，可實現(xiàn)任意兩個設(shè)定點之間的 1 秒響應(yīng)。可變 PID 根據(jù)流點設(shè)置不斷變化。這允許在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時優(yōu)化 PID 因子。
• 多氣體/多量程解決方案
  配置軟件可以快速輕松地更改規(guī)格。一個關(guān)鍵功能是可以在不從燃?xì)饷姘寤蚬艿郎喜鹣沦|(zhì)量流量控制器的情況下進(jìn)行更改。這減少了所需的備用質(zhì)量流量控制器的數(shù)量;節(jié)省時間和成本。

質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500X 適用于各種應(yīng)用以及半導(dǎo)體制造。