SEC-Z700X 系列

壓力不敏感質(zhì)量流量控制器

SEC-Z700X 系列配備了可靠的熱傳感器和壓力不敏感功能，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。機(jī)載壓力測(cè)量降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復(fù)雜性。

壓敏
新的高性能功能提供了簡(jiǎn)化的供氣系統(tǒng)。典型的多室氣體管路具有管路調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和過濾器，以避免由壓力波動(dòng)引起的質(zhì)量流量控制器串?dāng)_現(xiàn)象。SEC-Z700X 系列具有高穩(wěn)定性，可在不影響上游和下游壓力波動(dòng)的情況下控制氣體流量。提供流量輸出、溫度和壓力讀數(shù)。

• 多氣體/多量程功能
  氣體類型和滿量程流量可由客戶更改
• 可變 PID 功能可在整個(gè)流量范圍內(nèi)提供高速響應(yīng)（1 秒內(nèi)）
• 緊湊的氣體管路
  無需調(diào)節(jié)器、傳感器和過濾器
• 穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游和下游壓力波動(dòng)的影響
• 集成入口壓力傳感器
• 板載多顯示器
• 保修 1% 設(shè)定點(diǎn)高精度
• 超潔凈設(shè)計(jì) - 金屬隔膜，全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理（標(biāo)準(zhǔn)）。
• 尺寸緊湊
  接頭尺寸相同，最大 50 SLM
• 信號(hào)兼容性
  模擬/RS485 數(shù)字型號(hào) ， DeviceNet? 型號(hào)
• 網(wǎng)絡(luò)功能
  由數(shù)字信號(hào)控制。