標準 D500

壓力不敏感質量流量模塊

這種領先的壓力不敏感質量流量模塊安裝了差壓檢測和壓電執行器閥。

CRITERION D500 提供的高性能確保其可用于一系列先進的半導體制造工藝;壓力不敏感、多量程/多氣體/多壓力、G-LIFE（綜合限流器方程的氣體定律檢查）自診斷功能、高精度、快速響應、量程寬、全金屬。

• 壓力不敏感性能
  新的高性能壓力不敏感功能提供了簡化的供氣系統
• 多量程、多氣體、多壓力解決方案
  新功能允許用戶更改氣體類型、滿量程流量和供氣壓力范圍
• G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律檢查）自診斷功能
  先進的過程健康監測功能允許作員進行自己的測試，通常在 3 秒或更短的時間內，以提高吞吐量
• 高精度
  通過先進的三維調整提高了工藝氣體的流量精度
• 快速響應
  響應：< 0.8 秒
  可實現準確、穩定的流量控制
• 動態范圍
  寬控制范圍：0.2% F.S. 至 100% F.S.