D700T 系列

最佳性能壓敏質量流量模塊

D700T 是專為關鍵半導體制造工藝設計的最佳性能壓力不敏感質量流量模塊。D700T 采用了 HORIBA CRITERION 基于壓力的流量測量和控制技術，以提供行業領先的可重復和準確的性能。此外，D700T 的獨特之處在于利用了具有雙閥結構的專利高級流量控制算法，使客戶的氣體輸送系統能夠解決多種挑戰。

• ≤ 100 毫秒的全面快速建立時間（設置為 Set、Step up 和 Step down）
• 入口和出口壓力不敏感的性能
• 先進的故障檢測功能，用于診斷壓力傳感器偏移、閥座泄漏和流量精度變化
• 重復性在 0.15 %S.P. 以內
• 最佳精度規格在 0.45 %S.P.* 以內（標準：0.8 %S.P.）
• 更寬的工作溫度范圍 （15-60 °C）